復(fù)合式分子泵是一種高性能的真空泵，結(jié)合了多種技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)，具有大抽速、高壓縮比和高可靠性等特點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用于高真空、超高真空領(lǐng)域。其結(jié)構(gòu)形式多種多樣，其中主要包括渦輪葉片不盤式牽引泵的串聯(lián)組合和渦輪葉片不筒式牽引泵的串聯(lián)組合。渦輪級(jí)主要用于提高泵的抽速，而牽引級(jí)則主要用于增加泵的壓縮比，提高泵的出口壓力。

　　復(fù)合式分子泵的主要組成部分及其功能：

　　1、轉(zhuǎn)子（Rotor）

　　功能：轉(zhuǎn)子是分子泵的核心部件，通常由多級(jí)葉片或螺旋槽組成，通過高速旋轉(zhuǎn)（10,000~60,000 RPM）將氣體分子從入口輸送到出口。

　　結(jié)構(gòu)：

　　渦輪級(jí)：位于泵的高壓側(cè)，通過葉片對(duì)氣體分子進(jìn)行動(dòng)量傳遞，實(shí)現(xiàn)壓縮和抽氣。

　　牽引級(jí)：位于泵的低壓側(cè)，利用分子與壁面的碰撞作用，進(jìn)一步提高抽氣效率和極限真空度。

　　材料：通常采用高強(qiáng)度、耐腐蝕的合金材料（如鈦合金、不銹鋼），以承受高轉(zhuǎn)速和高溫環(huán)境。

　　2、定子（Stator）

　　功能：定子是泵的靜止部分，與轉(zhuǎn)子配合形成抽氣通道。其內(nèi)壁通常經(jīng)過特殊處理（如鍍膜或拋光），以減少氣體分子的反射和能量損失。

　　結(jié)構(gòu)：定子上設(shè)有進(jìn)氣口、排氣口和冷卻通道，確保氣體流動(dòng)的順暢和熱量的及時(shí)散發(fā)。

　　3、軸承系統(tǒng)（Bearing System）

　　功能：支撐轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)，同時(shí)保證密封性和穩(wěn)定性。

　　類型：

　　陶瓷軸承：耐高溫、耐磨損，適用于高轉(zhuǎn)速場景。

　　磁懸浮軸承：無機(jī)械接觸，減少摩擦和振動(dòng)，但成本較高。

　　動(dòng)y軸承：依賴轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的氣流形成潤滑膜，適用于小型分子泵。

　　冷卻方式：軸承通常需要強(qiáng)制冷卻（如風(fēng)冷、水冷或油冷），以防止過熱損壞。

　　4、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)（Drive System）

　　功能：為轉(zhuǎn)子提供高速旋轉(zhuǎn)動(dòng)力，通常由電機(jī)和變頻器組成。

　　組成：

　　電機(jī)：多為高速永磁同步電機(jī)，具有體積小、效率高的特點(diǎn)。

　　變頻器：調(diào)節(jié)電機(jī)轉(zhuǎn)速，實(shí)現(xiàn)軟啟動(dòng)、平穩(wěn)運(yùn)行和過載保護(hù)。

　　控制方式：通過閉環(huán)控制系統(tǒng)（如PID調(diào)節(jié)）維持轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速穩(wěn)定。

　　5、密封與連接部件

　　功能：確保泵體的氣密性，防止外部空氣泄漏或內(nèi)部氣體反流。

　　組成部分：

　　金屬密封：使用銅墊圈、氟橡膠圈或金屬刀口密封，適用于高真空環(huán)境。

　　法蘭接口：標(biāo)準(zhǔn)法蘭（如ISO-KF、CF）用于連接真空系統(tǒng)，需配合密封脂或墊片。

　　軸封：防止驅(qū)動(dòng)軸與泵體之間的氣體泄漏，通常采用機(jī)械密封或磁性密封。

　　6、冷卻系統(tǒng)（Cooling System）

　　功能：帶走轉(zhuǎn)子和軸承產(chǎn)生的熱量，防止泵體過熱。

　　類型：

　　風(fēng)冷：通過散熱風(fēng)扇或外部風(fēng)道散熱，結(jié)構(gòu)簡單但效率較低。

　　水冷：通過循環(huán)水冷卻，適用于高負(fù)荷或大型分子泵。

　　油冷：使用冷卻油循環(huán)，兼具潤滑和散熱功能。

　　7、控制器（Controller）

　　功能：監(jiān)控和調(diào)節(jié)泵的運(yùn)行狀態(tài)，包括轉(zhuǎn)速、功率、溫度和故障報(bào)警。

　　主要功能：

　　啟停控制：實(shí)現(xiàn)軟啟動(dòng)和平穩(wěn)停機(jī)，避免電流沖擊。

　　轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)：根據(jù)工藝需求調(diào)整轉(zhuǎn)子速度。

　　狀態(tài)顯示：實(shí)時(shí)顯示真空度、轉(zhuǎn)速、溫度等參數(shù)。

　　保護(hù)功能：過載、過熱、斷電等異常情況下自動(dòng)停機(jī)。

　　8、進(jìn)氣口與排氣口

　　進(jìn)氣口：連接真空系統(tǒng)，抽取氣體分子。

　　排氣口：將壓縮后的氣體排出泵外，通常連接到前級(jí)泵（如旋片泵或干泵）的進(jìn)氣口。

　　9、支架與固定裝置

　　功能：固定泵體并吸收振動(dòng)，確保運(yùn)行穩(wěn)定性。

　　組成：減震墊、彈簧片或剛性支架，根據(jù)安裝環(huán)境選擇。